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掠入射平場光柵光譜儀251MX251MX極紫外掠入射平場光柵光譜儀外形及光路排布251MX采用在軟X射線診斷領(lǐng)域廣受歡迎的掠入射平場光柵架構(gòu)

SeyaNamioka結(jié)構(gòu)真空紫外光譜儀SeyaNamioka結(jié)構(gòu)采用一片凹面光柵完成衍射與成像，包含角約70°

TGS300超環(huán)面光柵為研究分析真空紫外光譜而設(shè)計開發(fā)

H30-UVL是一款設(shè)計的真空紫外光譜儀，小角度入射光路中采用超環(huán)面光柵，在整個光譜范圍內(nèi)保持極低的像差和高光通量，可二維成像

H20-UVL真空紫外光譜儀在高真空環(huán)境下覆蓋100-400nm（3-12.4eV），在大氣環(huán)境下覆蓋190nm-400nm（3-6.5eV）